仪器仪表学报

2001, (04) 434-436+440

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电容式测压微传感器的特性分析
Characteristic Analysis of Capacitive Pressure Microsensor

许金海,冯勇建,邓俊泳

摘要(Abstract):

本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析 ,建立了传感器的力学模型。分析的结果表明 :传感器敏感元件和电容器的物理特性是影响传感器输出响应线性的主要因素

关键词(KeyWords): 微传感器;电容式;特性分析

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作者(Author): 许金海,冯勇建,邓俊泳

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