仪器仪表学报

1994, (02) 149-154

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微机监控光学膜厚方法的实验研究
Experimental Research on Automatic Control of Optical Coating Thickness by Microcomputer

朱自强,胡敏,龙建国,杨启纲

摘要(Abstract):

作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ/4膜层的极值厚度,其误差<3%。该方法快速、有效、成本低廉,易于推广应用。实验结果表明,研究方法是成功的。

关键词(KeyWords):

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 朱自强,胡敏,龙建国,杨启纲

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