仪器仪表学报

2006, (02) 159-164

[打印本页] [关闭]
本期目录(Current Issue) | 过刊浏览(Past Issue) | 高级检索(Advanced Search)

一种新型纳米光栅传感器的理论研究
Theory Study of a New Nanometrology Grating

马修水;费业泰;陈晓怀;赵静;

摘要(Abstract):

为了开发结构简单,抗干扰能力强的纳米测量精度光栅传感器,对基于二次莫尔条纹信号的纳米测量精度光栅传感器的测量原理进行了理论分析,通过仿真计算,其测量分辨力可达到5.40×10-10m,测量精度可达到纳米级。此外,对指示光栅和标尺光栅不平行时对二次莫尔条纹信号质量的影响进行了理论分析和仿真计算。

关键词(KeyWords): 纳米测量;二次莫尔条纹;光栅传感器;仿真

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(50275047);; 安徽省教育厅自然科学基金(2003kj004);; 安徽省重点实验室基金;; 安徽大学211工程学术创新团队资助项目

作者(Author): 马修水;费业泰;陈晓怀;赵静;

Email:

DOI:

扩展功能
本文信息
服务与反馈
本文关键词相关文章
本文作者相关文章
中国知网
分享